抛光研磨液是另一种不同于固定磨料和涂层磨料的“磨料”，磨料均匀且自由地分布在分散剂中。根据其作用机理，具体分为：机械作用研磨液、化学机械作用研磨液。以下，我们就来具体聊一聊。

　　机械研磨液：

　　金刚石、B4C等用作磨料，通过添加分散剂分散在液体介质中，形成研磨液，称为金刚石研磨液、碳化硼研磨液等。磨料在分散液中自由分布，利用磨料硬度大于被磨削工件硬度的原理实现工件的磨削和减薄。

　　根据磨料的表面、颗粒的大小、研磨液的配置和研磨设备的稳定性，研磨完成后，工件表面可能会留下大小划痕。因此，机械作用研磨液一般用于粗磨。

　　化学机械研磨液：

　　化学机械研磨液在磨损方面采用“软研磨和硬化”的原理，即使用较软的材料进行抛光，以获得高质量的抛光表面。它是一种机械研磨和化学腐蚀相结合的技术。借助超细颗粒的研磨作用和化学腐蚀作用，在研磨介质表面形成光滑平坦的表面。

　　因此，化学机械抛光液也称为化学机械抛光研磨液。在一定压力和抛光液存在下，待抛光工件相对于抛光垫移动，通过纳米粒子的研磨作用和氧化剂的腐蚀作用的有机结合，在待抛光工件表面形成光滑表面。